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                                      研發設施

                                      研究與中試條件一、工程研發能力

                                       

                                      “柔性制造”平臺:模塊化、知識密集、可變尺度和可快速配置。業內規模化、跨尺度、可快速配置的微納微加工與制造條件。

                                      1、微納結構制備(圖形化):幅面42寸、0.25um分辨率、1.5um線寬以上任意圖形;幅面42寸、100nm及以上特征結構的納米結構。

                                      擁有大型紫外微圖形無掩模直寫系統(iGrapher820)、超大型(65”)激光直寫光刻系統(MiScan1500系統)、大型微納米混合光刻直寫系統(HoloScanV);精密電鑄系統,激光刻蝕系統、激光簽注系統;紫外納米光子晶體直寫系統(HoloMakerIIIc)、高速紫外圖形直寫系統,多軸激光并行光刻系統(MicroLab100);大型紫外接近式曝光系統(EXPOSURE-Scan)。

                                      2、納米壓印工藝
                                      柔性納米壓印模板
                                      200nm點陣以上周期結構,1微米以上結構復制、微流控、生物芯片。
                                      PMMA、PC、PET材料:壓印器件,微納結構壓印薄膜
                                      UV coating 膠

                                      擁有UV卷對卷納米壓印設備7套;熱壓納米壓印設備套、納米轉移設備,濺射與熱蒸發蒸鍍設備以及相關其他設備。

                                      3、LIGA工藝、激光刻蝕
                                      深紋精密模具:線寬10um-200um,深度5um-100um
                                      觸摸屏、太陽能電池電極等精密印刷Ni網版
                                      圖形刻蝕(矩陣、蜂窩、棋盤、圓形、直線等)
                                      位相光柵、衍射元件、全息圖、精密圖形、MEMS
                                      LED導光logo、3D成像、空間動感成像(懸浮成像)

                                      4、微結構器件
                                      Micro-structure patterns
                                      基材:PC,Si,石英等
                                      圖形分辨率1um,深寬比可達5:1,尺寸100mmx100mm
                                      用于二元光學位相結構
                                      微流控芯片、生物芯片等。

                                      擁有精密電鑄系統、激光直接刻蝕系統、激光簽注系統;納米壓印設備、輥筒激光刻蝕設備、大尺寸平板激光刻蝕設備等。

                                      二、工程化設備

                                      具有微納加工柔性材料與器件跨尺度微納裝備的光、機、電、算工藝一體化實驗和中試條件,可全方位為客戶和合作方提供服務和方案支持。

                                      • 寬幅激光全息制版系統(HoloScanVe)
                                      • 大型微納米混合干涉光刻系統(HoloMakerIIIc)
                                      • 高速紫外圖形化直寫系統(iGrapher200-810)
                                      • 雙頭混合紫外激光光刻系統(MiScan)
                                      • 精密多軸激光并行光刻系統(MicroLab100)
                                      • 超大型紫外激光掩膜直寫系統(iGrapher150)
                                      • 紫外納米光子晶體直寫系統(6"-12”)(NanoCrystal)
                                      • 精密電鑄系統(40"-65”):21套;
                                      • 大型激光刻蝕系統(平板刻蝕、輥筒刻蝕系統)
                                      • 激光簽注系統
                                      • 大型紫外接近式曝光系統(EXPOSURE-Scan)
                                      • UV卷對卷納米壓印設備(14”-65"
                                      • 熱壓納米壓印設備
                                      • 納米涂布與轉移設備
                                      • 濺射-熱蒸發蒸鍍設備以及相關其他設備
                                      • 大型光刻膠板涂布設備
                                      • 激光全息曝光系統
                                      • 光學檢測平臺
                                      • 精密絲印設備

                                      三、核心技術

                                      1、超大尺寸快速圖形化光刻技術
                                        
                                      ●大尺寸紫外激光投影直寫光刻系統
                                        ●超大尺寸微-納混合圖形化直寫系統 
                                        ● 多軸微納加工設備(新產品)
                                        ● LED光子晶體快速光刻系統
                                      特色:(1)65英寸光掩膜(2um線寬)光刻能力。65英寸300nm周期光子晶體或者納米陷光結構的光刻能力。(2)25寸精密光掩膜(0.5um微米分辨率,1微米線寬;0.25um分辨率,1um線寬);支持大尺寸精密導電電路(2um線寬)的快速直寫光刻。

                                      2、納米壓印技術與模板制造
                                        ● UV納米壓印工藝與裝備
                                        ● 卷對卷納米壓印系統(新產品)

                                      150納米線寬、300納米周期結構的亞波長光學結構、材料與器件的研發條件。1300nm門幅的納米結構光學薄膜的研發條件。雙面UV納米壓印技術是工程研究中心的特色技術。

                                      3、顯示材料與器件:微納光學膜新方法
                                        ● 精密激光刻蝕與模具制備系統:支持32寸導光模具制備

                                        ● 熱壓型卷對卷納米壓印系統與關鍵工藝技術:超薄LED導光板(擴散復合功能)
                                        ● 微鏡擴散模具制備技術、
                                        ● 大尺寸透明導電傳感器

                                      4、3D成像與顯示:機理和技術
                                        ●
                                      3D成像與顯示材料的設計與制備技術:3D
                                      激光打印系統
                                        ● 基于微透鏡薄膜的激光空間成像技術
                                        ● 真彩色立體圖像處理、 三維真彩色顯示屏

                                       

                                      四、研究條件(場地)

                                      6000平米實驗樓,其中,3000平米凈化實驗室。中試線:4000平米中試基地(凈化):柔性制造中試基地(微納光學、光電膜)、微納圖形化與器件加工中試基地(納米圖形化、光子晶體、納米功能器件與材料)。

                                      五、檢測儀器

                                      微納設備與檢測儀器:光刻膠涂布、紫外光刻、ICP、IRE、電鑄、納米壓印、激光直寫、超聲清洗;涂布設備、激光蝕刻系統、微納圖形化直寫、蒸鍍設備、UV納米壓印設備、全息實驗系統、薄膜結構轉移、直接熱壓印系統、和大幅面LIGA工藝;臺階儀、金相顯微鏡、3D共焦顯微鏡、原子力顯微鏡和氣相色譜儀等。


                                       

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                                                              <li id="3yeqg"><s id="3yeqg"></s></li>
                                                            3. <dl id="3yeqg"></dl>

                                                            4. <td id="3yeqg"></td>
                                                            5. <blockquote id="3yeqg"><sup id="3yeqg"><i id="3yeqg"></i></sup></blockquote>

                                                            6. <big id="3yeqg"></big>

                                                              <big id="3yeqg"></big>

                                                              <label id="3yeqg"></label>
                                                            7. <thead id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></thead>

                                                            8. <blockquote id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></blockquote>
                                                              <td id="3yeqg"></td>

                                                                <big id="3yeqg"></big>
                                                                <meter id="3yeqg"><menuitem id="3yeqg"></menuitem></meter>
                                                                1. <thead id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></thead>
                                                                  <td id="3yeqg"></td>
                                                                  <output id="3yeqg"></output>
                                                                2. <meter id="3yeqg"><xmp id="3yeqg"></xmp></meter>
                                                                    1. <blockquote id="3yeqg"></blockquote>
                                                                      <meter id="3yeqg"><menuitem id="3yeqg"></menuitem></meter>
                                                                      <meter id="3yeqg"><strong id="3yeqg"></strong></meter><td id="3yeqg"><xmp id="3yeqg"></xmp></td>

                                                                    2. <td id="3yeqg"></td>
                                                                    3. <big id="3yeqg"></big>

                                                                      <td id="3yeqg"></td><code id="3yeqg"><strong id="3yeqg"><acronym id="3yeqg"></acronym></strong></code>
                                                                    4. <button id="3yeqg"></button>
                                                                      1. <output id="3yeqg"><ruby id="3yeqg"><track id="3yeqg"></track></ruby></output>

                                                                        <output id="3yeqg"></output>

                                                                        <big id="3yeqg"></big>

                                                                        <output id="3yeqg"></output>

                                                                        <div id="3yeqg"></div>
                                                                      2. <li id="3yeqg"><s id="3yeqg"><thead id="3yeqg"></thead></s></li>
                                                                        <small id="3yeqg"></small>
                                                                      3. <thead id="3yeqg"><b id="3yeqg"></b></thead>

                                                                            <blockquote id="3yeqg"><ruby id="3yeqg"></ruby></blockquote>
                                                                            <meter id="3yeqg"><xmp id="3yeqg"></xmp></meter>
                                                                          1. <thead id="3yeqg"><nav id="3yeqg"></nav></thead>

                                                                            <td id="3yeqg"><menuitem id="3yeqg"></menuitem></td>
                                                                              1. <var id="3yeqg"></var>
                                                                              2. <thead id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></thead>

                                                                                  <thead id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></thead><td id="3yeqg"><menuitem id="3yeqg"></menuitem></td>

                                                                                  1. <label id="3yeqg"><sup id="3yeqg"><li id="3yeqg"></li></sup></label>
                                                                                        1. <td id="3yeqg"><menuitem id="3yeqg"></menuitem></td>

                                                                                          <big id="3yeqg"></big>
                                                                                          1. <meter id="3yeqg"></meter>
                                                                                              1. <meter id="3yeqg"><xmp id="3yeqg"></xmp></meter>
                                                                                                <thead id="3yeqg"></thead>

                                                                                              2. <td id="3yeqg"></td>

                                                                                                <thead id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></thead>

                                                                                                <code id="3yeqg"></code>
                                                                                                <td id="3yeqg"><menuitem id="3yeqg"></menuitem></td>

                                                                                                <li id="3yeqg"><s id="3yeqg"></s></li>
                                                                                              3. <dl id="3yeqg"></dl>

                                                                                              4. <td id="3yeqg"></td>
                                                                                              5. <blockquote id="3yeqg"><sup id="3yeqg"><i id="3yeqg"></i></sup></blockquote>

                                                                                              6. <big id="3yeqg"></big>

                                                                                                <big id="3yeqg"></big>

                                                                                                <label id="3yeqg"></label>
                                                                                              7. <thead id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></thead>

                                                                                              8. <blockquote id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></blockquote>
                                                                                                <td id="3yeqg"></td>

                                                                                                  <big id="3yeqg"></big>
                                                                                                  <meter id="3yeqg"><menuitem id="3yeqg"></menuitem></meter>
                                                                                                  1. <thead id="3yeqg"><sup id="3yeqg"></sup></thead>
                                                                                                    <td id="3yeqg"></td>
                                                                                                    <output id="3yeqg"></output>
                                                                                                  2. <meter id="3yeqg"><xmp id="3yeqg"></xmp></meter>
                                                                                                      1. <blockquote id="3yeqg"></blockquote>
                                                                                                        <meter id="3yeqg"><menuitem id="3yeqg"></menuitem></meter>
                                                                                                        <meter id="3yeqg"><strong id="3yeqg"></strong></meter><td id="3yeqg"><xmp id="3yeqg"></xmp></td>

                                                                                                      2. <td id="3yeqg"></td>
                                                                                                      3. <big id="3yeqg"></big>

                                                                                                        <td id="3yeqg"></td><code id="3yeqg"><strong id="3yeqg"><acronym id="3yeqg"></acronym></strong></code>
                                                                                                      4. <button id="3yeqg"></button>
                                                                                                        1. <output id="3yeqg"><ruby id="3yeqg"><track id="3yeqg"></track></ruby></output>

                                                                                                          <output id="3yeqg"></output>

                                                                                                          <big id="3yeqg"></big>

                                                                                                          <output id="3yeqg"></output>

                                                                                                          <div id="3yeqg"></div>
                                                                                                        2. <li id="3yeqg"><s id="3yeqg"><thead id="3yeqg"></thead></s></li>
                                                                                                          湖北十一五开奖结果 山东11选5开奖结果一定牛 麻将技巧口诀 福彩快三有什么规律 广西十一选五开奖记录 广东快乐十分开奖 qq群流量还能赚钱 安徽快三形态走势一定很牛 股票期权 贵州11选5中奖助手 球探比分网 重庆时时彩宝典 老版本 516棋牌游戏中心斗牛 冰球比分哪里看 天易棋牌官网游戏大厅下载 湖北十一选五前三走势图